1400℃三温区真空气氛管式炉

电炉概述：

YZ-1400T-S6010LB3三温区真空气氛管式炉以硅碳棒为发热元件；双层风冷结构；高纯氧化铝纤维真空吸附一次成型；高密度硅碳棒真空挤压成型；刚玉管外径为60、80mm。三个温区分别由三个立的温控系统来控制且都为PID30段程序化控温。可通过调节三个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度，炉管两端装有不锈钢法兰，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,此系列真空气氛管式炉可以用CVD或PVD方法来生长纳米材料和制作各种薄膜。

主要用途：

YZ-1400T-S6010LB3三温区真空气氛管式炉是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想电炉. ，广泛用于电子陶瓷电炉的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）工艺等。

技术参数：

电炉名称	1400℃三温区真空气氛管式炉
电炉型号	YZ-1400T-S6010LB3
工作温度	1300℃
设计温度	1400℃
炉管尺寸	Φ60mmX1000mm
样品规格	外型尺寸：860×470×720mm（更多规格可根据用户需求定制）
温控系统	温控方式：三个温控系统单控制，都是采用PID方式调节30段可编程自动控制；
温控保护	具有超温及断偶报警功能
温控精度	±1℃
加热速率	0~20℃/分
温区长度	每个加热区200mm包括20mm间距，总温区长度:600mm
真空密封系统	仪器标配中有一套不锈钢真空密封法兰，出气和进气端都安装有不锈钢截止阀，真空度：10-2torr（用机械泵）；10-5torr（用分子泵）
加热元件	1500ºC级硅碳棒
工作电压	AC220V单项50Hz
设计功率	10KW
气 密 性	4.03×10-3Pa
测温元件	S型单铂铑热电偶测温
净 重	160Kg
炉 管	高纯度刚玉管
炉壳温度	≤45℃
提供相关配件	真空泵、真空法兰、真空表、塞砖
电气认证	CE认证
售后服务	12个月质保、终身保修

标准配件：

气炼石英炉管×1	真空法兰×1	防烫罩×2
高温手套×1	坩埚钩×1	热电偶×1
刚玉坩埚×2	炉塞×2	中文说明书×1

1．实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
5．具备多组历史数据记录功能。
6．具备同时显示多段温度及时间功能。

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。 。

该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计，大幅度降低泵的表面温升；采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油，更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封，确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计，零部件少，重复性好，外形紧凑，便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油，即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计，有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染；该电炉还设计有两档气镇，可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。