1200℃滑动式快速退火炉

YZ-1200T-S6015YZ1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率设计大可达100°C/m。为取得设计快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得设计快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。

可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。



可在真空\不同气氛\空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

标准配件：

气炼石英炉管×1	真空法兰×1	O型胶圈×4
高温手套×1	坩埚钩×1	热电偶×1
内六方扳手×2	炉塞×2	中文说明书×1

1．实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
5．具备多组历史数据记录功能。
6．具备同时显示多段温度及时间功能。

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。。

该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计，大幅度降低泵的表面温升；采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油，更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封，确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计，零部件少，重复性好，外形紧凑，便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油，即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计，有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染；该电炉还设计有两档气镇，可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。