1200℃立式管式气氛炉

电炉简介：

YZ-TF1200-S5010YZ1-L系列立式管式气氛炉的特设计能够实现在真空或气氛保护条件下对样品快速升降温，四面加热，温场更均匀，立式结构使得气体排放更加顺畅，炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性，可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要！

适用范围：

立式管式气氛炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，应用于高、中、低温CVD工艺，如碳纳米管的研制，晶体硅基板镀膜，金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。

技术参数：

标准配件：

石英炉管×1	真空法兰×1	o型胶圈×2
高温手套×1	坩埚钩×1	热电偶×1
内六角扳手x1	炉塞×2	中文说明书×1

1．实现电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
5．具备多组历史数据记录功能。
6．具备同时显示多段温度及时间功能。

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。 。

该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计，大幅度降低泵的表面温升；采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油，更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封，确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计，零部件少，重复性好，外形紧凑，便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油，即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计，有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染；该电炉还设计有两档气镇，可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。