YZ TF200-1000T 三温区管式炉是高温生产的三温区管式炉。该管式炉配备有石英管和水冷法兰,一块触摸屏控制温度和真空度,操作简洁方便。设计高工作温度1150℃,真空度可以达到10-5 torr。该管式炉是一款理想的做退火,扩散和CVD等的实验设备。
电炉名称 | 1100℃三温区管式炉 |
电炉名称 | YZ TF200-1000T |
炉体结构 |
采用双层壳体风冷系统 采用高纯度氧化铝作为炉膛材料,保温性能极好,设计限度减少热量损失。 通过触摸屏控制工作温度,真空度,水冷机组 在炉子底部安装有水冷和高真空机组 采用铰链水冷法兰,操作方便简洁 |
石英管尺寸 |
采用高纯度石英管 尺寸: φ210 x 1300mm 提示:石英管是损耗品,石英管是易碎品,请妥善保管。 标配两块氧化铝纤维管堵,用于阻挡管内的热辐射(加热炉在工作时必须放入管堵) 可选石英管堵,提高洁净度及真空度 |
加热区 |
总加热区长度:900 mm (36") 三个区: 300 mm + 300 mm + 300mm 恒温区长度: 750 mm (三个温区可设置相同的温度,误差为+/- 2°C)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 |
工作温度 |
设计工作温度1100°C 连续工作:200~1050°C 设计加热/冷却速率:10°C/min 温度分布图 |
温度控制 |
配备一块触摸屏控制温度 三个加热区可分别设置30段升降温程序 控温精度+/- 1°C 每个温区都配备一个K型热电偶 |
真空泵系统 |
在炉子下方配备了一个数子分子泵系统 设计真空度可达10-5torr 真空泵由触摸屏控制 |
真空系统及法兰 |
配备一对水冷密封法兰(铰链法兰) 左法兰配备:真空计和触摸屏控制的电磁阀(用于控制炉内气氛环境) 右法兰配备:KF40真空接口,用于连接真空泵接口上的电磁阀 法兰外端配备一个外径1/4"的热电偶插口,用于方便进行温度校准 炉子底部配备有一个16L/min水冷机,用于水冷法兰的供水 |
可选 |
可以另配混气系统用于CVD实验 |
额定电压 |
单相, 220V AC, 50/60 Hz 包括AWG 8#电源线 |
设计功率 |
12KW (需50A的空气开关) |
产品尺寸 |
L 1700×W 750 × H1800mm |
净重 |
250Kg |
质保期 |
一年质保期,终身维护(炉管,密封圈,加热元件易耗件除外) |
质量认证 |
若客户出认证费用,单台设备可进行通过德国TUV认证或CAS认证。 |
使用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |
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