电炉名称 |
定制RTP系统 |
一第部分: 管式炉 |
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电炉名称 |
开启式上下温区RTP管式炉 |
温度 |
设计1000度 |
控 制 器 |
LCD触摸屏 |
炉管尺寸 |
石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口 |
加热区 |
300mm |
炉型 |
开启式 |
供电电源 |
电压:380V; 频率:50 hz;三相 |
加热元件 |
卤素灯加热 |
升温速率 |
30 C/秒 |
热 电 偶 |
K 型热电偶测物料处温度 |
温度控制器 |
30段高精度数字可编程温度控制器 |
第二部分 混气系统 |
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量程 |
MFC1:氧气(O2)0-200sccm MFC2:氩气(Ar)0-200sccm |
第三部分 真空系统 |
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飞越VDR-41L/S+粉尘过滤器配套防腐数显真空计 |
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