1200℃双管滑道式CVD系统
- 名称：1200℃双管滑道式CVD系统
- 类型：高温管式炉
- 规格：
- 温度：℃
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产品详细
电炉介绍：该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。
技术参数：
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电炉名称 |
1200℃双管滑道式CVD系统 |
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一第部分： 1200度滑道双管双温区管式炉 |
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电炉型号 |
1200度滑道管式炉 |
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炉管尺寸 |
双石英管 外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 内管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm |
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加热区 |
220+220mm |
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供电电源 |
230V，单相，50HZ |
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功率 |
4.0 kw |
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加热元件 |
电阻丝 |
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升温速率 |
0-20°C/min |
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热电偶 |
K型 |
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第二部分： 水冷系统 |
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法兰 |
1.水冷机 CW-3000 2.水冷，密封双管的真空法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管. |
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第三部分 真空系统 |
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真空系统 |
1.防腐数显真空计 2.VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含挡板阀KF25接口，波纹管和箱体 |
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第四部分 混气系统 |
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质量流量计 量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm ....... |
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重要提示
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高温管式炉 代理商
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