1200度三温区CVD管式炉-高温实验电炉

1200度三温区CVD管式炉

  • 名称:1200度三温区CVD管式炉
  • 类型:高温管式炉
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产品详细

1200度三温区CVD管式炉

电炉介绍:


YZ-1200T-S60YZ3-3FZ型CVD管式炉由YZ-TF1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ,设计温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

YZ-TF1200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等点。



应用范围:



YZ-1200T-S60YZ3-3FZ型CVD炉是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想电炉。


规格参数:

高温炉壳体 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
功率 2.5KW
电压 AC208-240V单相,50/60Hz
加热元件 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其设计大程度延长使用寿命)
设计工作温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
设计快升温速率 <=20℃
炉管材质和尺寸 石英管:OD:80mmxID:75mmxLength:1000mm
加热区长度 三温区:200+200+200 mm
恒温区长度 350(+/-1℃)
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/-1℃
真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),设计大漏气率6mtorr/min
真空泵 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的设计小微粒直径为0.3微米。
数字式真空显示计 数显真空计,已安装在不锈钢法兰上
混气系统 三个质量流量计
三路质量量程分别为
10-100cc/min.
16-160cc/min.
25-250cc/min
内部安装有一混气罐
售后服务 质保一年,终身保修


可选配件:


质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份




 

 


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本页标题:1200度三温区CVD管式炉

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高温管式炉 代理商
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2024-12-27 02:00:00 来自APP

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2019-04-30 来自APP

2021-05-19 13:43:11 客服回复 :

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