产品详情

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用设计为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。

YZ CVD60-12-3CVD是由1200度管式炉+三路混气系统+真空系统组成。

1200度CVD系统主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理，质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料，炉管材质良，炉管两端不锈钢法兰密封，可在真空下工作，法兰上有进气口和出气口，可通入保护气体，精密针型阀可调节进气流量。

产品特点

1、CVD管式炉系统由加热系统、真空获得系统和气路系统组成。

2、管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度，炉管两端的不锈钢密封法兰也可选择高真空法兰和低真空法兰；

3、真空获得系统可根据试验要求选择不同的真空泵，旋片式机械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空机组真空度1×10-4pa；

4、气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统。

5、真空测量用作数字复合真空机或皮拉尼真空计。

6、温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置，可连接PC，用于系统的远程控制和监视，还可以保存或导出测试结果。

7、产品符合欧盟CE标准。

技术参数

型号	YZ CVD25-12	YZ CVD40-12	YZ CVD60-12	YZ CVD80-12	YZ CVD100-12	YZ CVD120-12
炉管尺寸mm	Φ25x 1000	Φ40x 1000	Φ60 x 1000	Φ80x1000	Φ100x 1000	Φ120x 1000
额定温度	1200℃
工作温度	1100℃
加热区尺寸	440mm
电源电压	220V/2KW	220V/2KW	220V/3KW	220V/4KW	220V/4KW	220V/6KW
加热元件	HRE合金电阻丝
炉膛材料	湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料
炉管材料	石英管
控温精度	±1℃
测温元件	K型热电偶
温控仪表	智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温
升温速度	1-25℃/min自由调节
炉体结构	炉膛温控一体式结构，炉膛开合式；双层外壳，空气循环隔热
密封性能	炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温 PTFE 垫圈，可在真空下进行工作， 真空度≤5pa（旋片式真空泵）
气氛性能	法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体
设备保护	模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作
安全保护	在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员的安全
外壳	质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉
质量认证	ISO9001   CE    SGS   TUV
标准配置	1、炉体1台   2、温度控制器1台   3、电源线3米   4、热电偶1支   5、说明书1份  6、炉钩1把   7、高温手套1双     8、管堵2个      9、密封法兰1套

TAG:CVD系统 
上一篇:第一篇
下一篇:最后一篇