1100℃真空箱式管式炉采用电阻丝加热元件加热,双层壳体结构和30段程序控温,K型热电偶,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料,温度能达到1100度,可连续工作温度1000度,控温精度±1度,该炉具有温场均匀、表面温度低,升降温度速度快、节能等特点。
1、超大口径的石英炉膛和真空密封法兰系统,既可以作为箱式炉对大批量样品进行烧结,同时也可以在流动气氛和真空状态下快速加热样品。
2、炉膛采用高纯氧化铝聚轻材料,很大程度减少能量损失,内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。
1、电炉型号:1100℃真空箱式管式炉
2、额定功率:4KW
3、电压:AC220V,50Hz
4、加热区尺寸:Φ240*210mm
5、设计温度:1100度(≤30min)
6、工作温度:1000度
7、建议升温速率:≦10℃/min
8、加热元件:电阻丝(掺钼铁铬铝合金)
9、石英腔体尺寸:Φ200×340mm
10、石英样品平台
11、标配一个8″的石英样品平台,将样品放置在平台上进行退火图片0.0.png
12、也可选配石英晶片舟以对最大6"的晶片进行退火图片1.0.png图片2.0.png
13、温控系统:采用智能控温仪,PID30段程序控温
14、测温元件:热电偶采用K型热电偶
15、控温精度:±1℃
16、真空法兰: 带两个快速连接端口的不锈钢水冷法兰组件。所有密封件均由硅胶O型圈密封;一个机械压力表安装在法兰上,范围-0.1到0.15Mpa(可选配数显真空计;进气口为G1/4不锈钢气嘴接头、出气口为KF25的真空接口,设备可以在流动气氛和真空状态下快速加热样品
17、真空度:10-2torr(用机械泵)
18、水冷设备:(选配) 水冷法兰使用。
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