产品详情

电炉介绍：
YZ-TF1200大口径CVD管式炉是一种具有60mm直径石英管，真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的可拆分管式炉。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

电炉用途：
广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验，也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

电炉参数：

型号	YZ-TF1200-CVD
显示	液晶显示屏
一第部分
炉膛	分体式和上部可以打开
设计工作温度	1100°C
加热速率	建议：0〜10℃/ min（设计20℃/ min）
加热温区	500mm
加热元件	钼电阻丝
温度控制精度	±1℃
炉管尺寸	外径200mm X长度1200mm
供电电源	三相380V，50HZ
功率	20KW（功率以实际设计为准）
温度控制器	30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分混气系统七星华创
量程 MFC1 H2 0-200sccm 氢气 MFC2 NH3 0-200sccm 氨气(D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A硅烷专用流量计）	LCD触摸屏
第三部分电阻硅真空计
第四部分 射频电源
更多规格可根据需求定制

 

 

TAG:大口径CVD管式炉 
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