电炉概述:
YZ-RTP1100-100IC滑轨式管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(设计大达3“)的退火而设计,采用红外灯管加热,升温速度可达400℃/分钟, 30段温度控制,精度为±1°C。
电炉特点:
1.温度均匀性好
2.过温保护和报警
3.通过SCR功率控制进行PID自动控制
技术参数:
电炉型号 |
YZ-RTP1100-100IC |
显示方式 | LED |
炉体结构 | 双层铸钢外壳 |
设计工作温度 | 1000℃ |
建议升温速率 | 300℃/min |
温区数 | 单温区 |
控温精度 | ±1℃ |
加热区长度 | 200mm |
炉管直径 | OD100 |
炉管材质 | 石英管 |
加热元件 | 红外灯管加热 |
密封装置 | 真空法兰 |
热电偶类型 | K型 |
设计功率 | 18KW |
电源电压 | AC380V 50HZ 可根据要求定做 |
温控 | PID智能控温 |
加热曲线 | 30段可编程 |
质保期 | 一年(易损件除外) |
标准配件:
刚玉炉管×1 | 真空法兰×1 | 防烫罩×2 |
高温手套×1 | 坩埚钩×1 | 热电偶×1 |
刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
注:坩埚可按用户需求选配合适的款型
可选配件:
液晶触摸控制仪
1.实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2.工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线,保存于触摸屏内,带密码保护功能,可一次性编制多条曲线。
3.具备断电记忆功能,查询已完成的工艺阶段。
4.现场操作人员需要调用某条温控曲线时,直接输入曲线序列号即可调用该条曲线,简单方便,杜绝错误发生。
5.具备多组历史数据记录功能。
6.具备同时显示多段温度及时间功能。
多路质子流量计
1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。
2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。
4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。
5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。 。
耐高温真空泵
该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计,大幅度降低泵的表面温升;采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油,更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封,确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计,零部件少,重复性好,外形紧凑,便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油,即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计,有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染;该电炉还设计有两档气镇,可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。