产品详情

电炉介绍：

YZ-TF1200-S6012YZ1-4Z5S型石墨烯生长炉由YZ-1200T管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ，设计温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

YZ-1200T管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等点。

软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

应用范围：

YZ-1200T-S6012YZ1-4Z5S型石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔（像铜箔、铝箔等）上生长薄膜而设计；广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。

规格参数：

电炉名称	1200℃石墨烯生长炉
电炉型号	YZ-1200T-S6012YZ1-4Z5S
管式炉
加热区长度	440mm
恒温区长度	150 (+/-1 ℃)
工作温度	1100℃（此温度为长期加热温度）
设计温度	1200℃
炉管尺寸	Φ60×1440mm
等离子射频电源
输出功率	5～500W±1%.
射频频率	13.56MHz±0.005%.
反射功率	设计大约200W
阻抗匹配	自动
真空泵机组（双极旋片泵）
真空度	10-3torr
波纹管	KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
质量流量计
四通道控制	精度0.02%、数字显示、自动控制、一个混气罐、底部装有泄废液口
MFC1范围	0~100sccm
MFC2和3	0~500sccm
进气接口	1/4NPS
出气接口	1/4NPS
水冷系统
水冷法兰要求	水流量>=10L/M，配有专业水冷机组

标准配件：

等离子射频电源1台、质子混气系统1台、双旋机械泵1台、水冷系统1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份

注：坩埚可按用户需求选配合适的款型

 

 

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