RTP快速退火炉
- 名称：RTP快速退火炉
- 类型：高温管式炉
- 规格：
- 温度：℃
厂家电话：
产品详细
电炉介绍：该定制RTP快速退火炉是一款RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热，设计快升温速度是50℃/秒。 30 段精度温度控制，RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
技术参数：
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电炉名称 |
定制RTP系统 |
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一第部分： 管式炉 |
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电炉名称 |
开启式上下温区RTP管式炉 |
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温度 |
设计1000度 |
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控 制 器 |
LCD触摸屏 |
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炉管尺寸 |
石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口 |
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加热区 |
300mm |
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炉型 |
开启式 |
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供电电源 |
电压：380V； 频率:50 hz；三相 |
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加热元件 |
卤素灯加热 |
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升温速率 |
30 C/秒 |
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热 电 偶 |
K 型热电偶测物料处温度 |
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温度控制器 |
30段高精度数字可编程温度控制器 |
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第二部分 混气系统 |
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量程 |
MFC1：氧气（O2）0-200sccm MFC2：氩气（Ar）0-200sccm |
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第三部分 真空系统 |
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飞越VDR-41L/S+粉尘过滤器配套防腐数显真空计 |
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重要提示
国内度高温管式炉 的厂家上海高温实验电炉专业生产RTP快速退火炉、高温管式炉 、RTP快速退火炉。高温管式炉价格公道、质量可靠。
高温管式炉 代理商
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高温管式炉
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