高温化学气相沉积系统
- 名称：高温化学气相沉积系统
- 类型：高温管式炉
- 规格：
- 温度：℃
厂家电话：
产品详细
电炉介绍：此款定制高温气相沉积系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺的研究。
电炉特点：
1、该系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，智能控温无需要人看守。
2、炉膛采购氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封，密封法兰上安装有相关进气口及出气口
电炉参数：
| 电炉名称 | 定制高温CVD系统 |
| 沉积炉 | |
| 电炉型号 | YZ-TF1500CVD-DZ |
| 炉膛模式 | 开启式 |
| 炉膛材料 | 氧化铝耐火纤维 |
| 加热元件 | U型硅钼棒 |
| 极限温度 | 1600℃高温区 |
| 工作温度 | ≤1500℃高温区 |
| 升温速率 | ≤10℃/min |
| 加热温区 | 单温区、双温区、多温区 |
| 温区总长度 | 200、300、400mm |
| 炉管材质 | 刚玉管 |
| 炉管直径 | 40、50、60、80、100mm |
| 密封方式 |
定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口 方便进气 底部法兰加支架 方便工件放在沉积炉低温区 |
| 控制模式 | 每个温区单 30段智能PID程序控温 |
| 温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 测温元件 | B型双铂铑热电偶 |
| 供电电源 | 220V/380V 50HZ |
| 供气系统 集成在控制柜上 | |
| 气体通道 | 可同时连接多种气源 |
| 流 量 计 | 浮子流量计 |
| A路量程 | 1L/MIN |
| B路量程 | 1L/MIN |
| C路量程 | 1L/MIN |
| 气路压力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止阀 | 不锈钢材质 |
| 气体连接管 | 1/4不锈钢管 |
| 气化炉A、B | |
| 设计温度 | 700 |
| 工作温度 | 500 |
| 炉膛尺寸 | 定制 |
| 开门方式 | 上开 |
| 进气口 | 一个进气口 |
| 出气口 | 一个出气口 |
| 售后服务 | 12个月质保（易耗件及人为损坏除外），终身保修 |
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重要提示
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高温管式炉 代理商
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