大口径CVD管式炉
- 名称：大口径CVD管式炉
- 类型：高温管式炉
- 规格：
- 温度：℃
厂家电话：
产品详细
电炉介绍：YZ-TF1200大口径CVD管式炉是一种具有60mm直径石英管，真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的可拆分管式炉。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。
电炉用途：
广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验，也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。
电炉参数：
| 型号 | YZ-TF1200-CVD |
| 显示 | 液晶显示屏 |
| 一第部分 | |
| 炉膛 | 分体式和上部可以打开 |
| 设计工作温度 | 1100°C |
| 加热速率 | 建议：0〜10℃/ min（设计20℃/ min） |
| 加热温区 | 500mm |
| 加热元件 | 钼电阻丝 |
| 温度控制精度 | ±1℃ |
| 炉管尺寸 | 外径200mm X长度1200mm |
| 供电电源 | 三相380V，50HZ |
| 功率 | 20KW（功率以实际设计为准） |
| 温度控制器 | 30段高精度数字可编程温度控制器 |
| 第二部分混气系统七星华创 | |
|
量程 MFC1 H2 0-200sccm 氢气 MFC2 NH3 0-200sccm 氨气(D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A硅烷专用流量计） |
LCD触摸屏 |
| 第三部分电阻硅真空计 | |
| 第四部分 射频电源 | |
| 更多规格可根据需求定制 |
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重要提示
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高温管式炉 代理商
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高温管式炉
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